国家知识产权局信息数据显现，沈阳新松半导体设备有限公司请求一项名为“一种根据多类型传感器协同作业的AWC校准体系”的专利，公开号CN121018520A，请求日期为2024年5月。

  专利摘要显现，本发明供给一种根据多类型传感器协同作业的AWC校准体系，包含在晶圆转移的各工位之间设置激光传感器、高速图画捕捉传感器，收集触发信号和晶圆图画，经过上位机辨认晶圆移动轨道并输出操控信号给机械手，使其承托晶圆进行轨道纠偏。本发明经过操控完成对晶圆、机械手的轨道、以及方位做多点监控，并经过监控成果的反应完成补偿、批改运动发生的误差，并对重复性精度较低的机械手能够完成转移补偿、批改方位到达高精度的作用。

  天眼查资料显现，沈阳新松半导体设备有限公司，成立于2023年，坐落沈阳市，是一家以从事电气机械和器件制造业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。经过天眼查大数据分析，沈阳新松半导体设备有限公司共对外出资了2家企业，参加招投标项目1次，产业线条。

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